本文摘要：8月21日，安徽熙泰智能科技有限公司（以下全称“熙泰”）硅基OLED工厂首台设备——蒸镀设备搬进。

8月21日，安徽熙泰智能科技有限公司（以下全称“熙泰”）硅基OLED工厂首台设备——蒸镀设备搬进。据熙泰官网表明，熙泰座落在安徽省芜湖市长江大桥综合开发区辰泓约产业园内，致力于为全球用户获取优质的硅基AMOLED微型显示器产品及技术支持。公司2016年研发中心正式成立，2017年7月份完满竣工，全面投放运营。

现有还包括科研人员、新进人员等在内的专业研发人员20多名，50％以上具备硕士研究生以上学历。中心研发产品主要集中于LCOS、硅基OLED微显示器、硅基LED微显示器和涉及仪器设备等方向。

该研发中心所用于的是团簇式设备，由四个真为空腔室、一个传送腔室和用作PCB用的手套箱（水和氧气含量大于1ppm）包含，总控腔体（1）用作机械手自动传输并能掌控各个腔体的工作，真空腔体为等离子体清除腔体（2）用作清除基板，有机热冷却薄膜蒸镀腔体（3）用作蒸镀OLED各个功能层；两个磁控溅射腔体（4和5）腔体用作制作金属和化合物电极。所有真空腔体的真空度平均10－5pa。硅基OLED是将半导体和OLED融合的一种表明技术，具备高亮度、高对比度、低PPI、高集成度、较低响应时间及低功耗等特性。

目前，京东方、视涯、Kopin、索尼等大厂也都在大力前进硅基OLED技术发展。

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